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一种制备半导体元件结构的载子植入系统。载子植入系统包括一植入模块，其在第一芯片上执行第一植入配方，以将第一芯片从第一芯片状态转变为第二芯片状态；第一测量模块，其收集第一芯片的第二芯片状态以产生第一组数据；及人工智能模块，其耦合至第一测量模块...
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