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具有双端灯的轴对称的加热组件布局制造技术
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下载具有双端灯的轴对称的加热组件布局的技术资料
文档序号:39868421
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本文描述了用于在基板处理腔室内加热基板的设备
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该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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