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半导体存储装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3986230
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提供一种半导体存储装置及其制造方法,能够削减通过光刻来形成抗蚀剂的工序,并降低成本。第2杂质区域(2b)构成为沿列方向相邻的第2杂质区域(2b)彼此连接,选择栅极电极(4)构成为环状,以包围第2杂质区域(2b),并且与字线(WL)电连接,第...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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