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一种三维铁电随机存储器(3D FeRAM)器件包括：电容器结构，包括在基板上的第一电容器电极、围绕第一电容器电极的侧壁的铁电图案以及围绕并接触铁电图案的外侧壁的多个第二电容器电极，第一电容器电极在基本上垂直于基板的上表面的垂直方向上延伸，所...
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