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本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置，其包括：一并处理多张基板的分批式处理部；处理一张基板的单片式处理部；将通过上述分批式处理部完成了处理的多张基板的姿势变换成水平姿势的姿势变换部；从上述分批式处理部向上述姿势变换部搬送基板的第一搬送...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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