下载半导体器件的技术资料

文档序号:39834982

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本发明提供一种半导体器件,该半导体器件包括:基板;有源区,在基板上在第一方向上延伸;栅极结构,在基板上在第二方向上延伸并包括栅电极;源极/漏极区,提供在有源区上在栅极结构的至少一侧;层间绝缘层,覆盖栅极结构;第一接触结构,在栅极结构的至少一...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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