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本发明提供了一种石墨靶材与背板的绑定方法,所述绑定方法包括如下步骤:对石墨靶材焊接面进行喷砂处理;对喷砂后的石墨靶材焊接面化学镀镍;将石墨靶材和背板加热后,将焊料分别独立地放置在石墨靶材焊接面和背板焊接面进行浸润,在背板焊接面形成焊料槽并放...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种石墨靶材与背板的绑定方法,所述绑定方法包括如下步骤:对石墨靶材焊接面进行喷砂处理;对喷砂后的石墨靶材焊接面化学镀镍;将石墨靶材和背板加热后,将焊料分别独立地放置在石墨靶材焊接面和背板焊接面进行浸润,在背板焊接面形成焊料槽并放...