下载一种半导体器件的晶圆片贴膜机的技术资料

文档序号:39820527

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本发明涉及晶圆贴膜技术领域,且公开了一种半导体器件的晶圆片贴膜机,包括外壳,所述外壳的中心固定安装有基台,所述基台的顶部用以安置贴膜环,所述贴膜环的外侧处设有基座,所述外壳与盖板铰接,所述盖板的底部固定安装有环形切刀,所述基座旁边外壳的内部...
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