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检查装置、检查方法及记录程序的记录介质制造方法及图纸
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下载检查装置、检查方法及记录程序的记录介质的技术资料
文档序号:39817042
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在检查装置(1)中,表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像(431)、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组(432)被存储在存储部(43)中。在辅助检查部(42)中,通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查...
该专利属于株式会社斯库林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。
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