在检查装置(1)中，表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像(431)、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组(432)被存储在存储部(43)中。在辅助检查部(42)中，通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查处理来检测缺陷。在试检查控制部(41)中，使辅助检查部(42)执行针对多个试检查用图像(431)的、使用了调整前的缺陷检测条件的检查处理来作为试检查，并使显示部(35)显示试检查的结果。在输入部(36)接受到缺陷检测条件的调整的输入之后，使辅助检查部(42)执行针对确认用图像组(432)的、使用了调整后的缺陷检测条件的检查处理来作为确认检查，并使显示部(35)显示确认检查的结果。由此，能够容易地确认缺陷检测条件的调整是否适当。能够容易地确认缺陷检测条件的调整是否适当。能够容易地确认缺陷检测条件的调整是否适当。
【技术实现步骤摘要】
检查装置、检查方法及记录程序的记录介质
[0001][相关申请的参考][0002]本申请要求2022年6月16日申请的日本国专利申请JP2022
‑
097437的优先权，该申请的全部公开内容通过引用并入本申请。
[0003]本专利技术涉及对拍摄了对象物的图像进行检查的技术。
技术介绍
[0004]以往，利用对形成有图案的基板进行拍摄而获取图像，使用该图像来检测缺陷的检查装置(例如，参照日本特开2002
‑
310928号公报)。在检查装置中，为了减少真缺陷的遗漏或虚报，进行缺陷检测条件的调整(即，缺陷检测所涉及的各种参数的调整)。例如，在同种基板的制造中，在检查新的制造批次的基板时，使用该制造批次的一部分基板进行试检查，进行缺陷检测条件的调整。然后，使用调整后的缺陷检测条件，对该制造批次的全部基板进行检查。由此，能够减少该制造批次中特有的虚報。
[0005]但是，从检查的稳定性的观点来看，即使在使用与新的制造批次匹配的调整后的缺陷检测条件的情况下，也需要能够检测出会以调整前的缺陷检测条件被检测出的真缺陷。因此，需要一种容易地确认能否检测这种真缺陷，即缺陷检测条件的调整是否适当的方法。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于容易地确认缺陷检测条件的调整是否适当。
[0007]本专利技术的方式1是一种检查装置，对拍摄对象物而得到的图像进行检查，其中，具备：存储部，存储表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组；检查部，通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查处理来检测缺陷；显示部，显示所述检查处理的结果；输入部，接受所述缺陷检测条件的调整的输入；以及试检查控制部，使所述检查部执行针对多个所述试检查用图像的、使用了调整前的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为试检查，并使所述显示部显示所述试检查的结果，在所述输入部接受到所述缺陷检测条件的调整的输入之后，使所述检查部执行针对所述确认用图像组的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为确认检查，并使所述显示部显示所述确认检查的结果。
[0008]根据本专利技术，能够容易地确认缺陷检测条件的调整是否适当。
[0009]本专利技术的方式2是根据方式1所述的检查装置，其中，所述试检查控制部在使所述显示部显示所述确认检查的结果时，显示所述确认用图像组所表示的多个所述缺陷中的、通过所述确认检查没有检测出的缺陷的存在。
[0010]本专利技术的方式3是根据方式1或2所述的检查装置，其中，在所述输入部接受到将作为所述试检查的结果而显示于所述显示部的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，所述试
检查控制部将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。
[0011]本专利技术的方式4是根据方式1至3中任一方式所述的检查装置，其中，所述确认用图像组包括第一缺陷类别的图像组和与所述第一缺陷类别不同的第二缺陷类别的图像组。
[0012]本专利技术的方式5是根据方式1至4中任一方式所述的检查装置，其中，还具备：拍摄部，获取表示所述制造批次中包含的多个对象物的多个检查图像，多个所述试检查用图像以及所述确认用图像组是由所述拍摄部获取的图像，所述检查部执行针对多个所述检查图像的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为量产检查。
[0013]本专利技术的方式6是根据方式5所述的检查装置，其中，在所述输入部接受到将在所述量产检查中检测出的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，所述试检查控制部将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。
[0014]本专利技术的方式7是根据方式5或6所述的检查装置，其中，所述检查部具备：第一检查部，执行所述试检查及所述确认检查；以及第二检查部，执行所述量产检查。分别独立设置装置主体和辅助单元，所述装置主体包括所述拍摄部及所述第二检查部的装置主体，所述辅助单元包括所述存储部、所述第一检查部、所述显示部、所述输入部及所述试检查控制部。
[0015]本专利技术的方式8是一种检查方法，通过检查装置对拍摄对象物而得到的图像进行检查，其中，包括：a)工序，准备表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组；b)工序，在所述检查装置中，通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查处理而能够检测缺陷，执行针对多个所述试检查用图像的、使用了规定的缺陷检测条件的所述检查处理来作为试检查；c)工序，将所述试检查的结果显示于显示部；d)工序，接受所述缺陷检测条件的调整的输入；e)工序，执行针对所述确认用图像组的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为确认检查；f)工序，将所述确认检查的结果显示于所述显示部。
[0016]本专利技术的方式9是根据方式8所述的检查方法，其中，在所述f)工序中，在将所述确认检查的结果显示于所述显示部时，显示所述确认用图像组所表示的多个所述缺陷中的、通过所述确认检查没有检测出的缺陷的存在。
[0017]本专利技术的方式10是根据方式8或9所述的检查方法，其中，在所述c)工序中，在接受到将作为所述试检查的结果而显示于所述显示部的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。
[0018]本专利技术的方式11是根据方式8至10中任一方式所述的检查方法，其中，所述确认用图像组包括第一缺陷类别的图像组和与所述第一缺陷类别不同的第二缺陷类别的图像组。
[0019]本专利技术的方式12是根据方式8至11中任一方式所述的检查方法，其中，还包括：g)工序，通过拍摄部获取表示所述制造批次中包含的多个对象物的多个检查图像；h)工序，执行针对多个所述检查图像的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为量产检查，多个所述试检查用图像以及所述确认用图像组是由所述拍摄部获取的图像。
[0020]本专利技术的方式13在根据方式12所述的检查方法，在接受到将在所述量产检查中检测出的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。
[0021]本专利技术的方式14是一种记录介质，记录有使计算机对拍摄对象物而得到的图像进
行检查的程序，通过由计算机执行所述程序，使所述计算机执行：a)工序，准备表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组；b)工序，在所述计算机中，通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查处理而能够检测缺陷，执行针对多个所述试检查用图像的、使用了规定的缺陷检测条件的所述检查处理来作为试检查；c)工序，将所述试检查的结果显示于显示部；d)工序，接受所述缺陷检测条件的调整的输入；e)工序，执行针对所述确认用图像组的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为确认检查；f)工序，将所述确认检查的结果显示于所述显示部。
[0022]上述目的及其他目的、特征、方式及优点通过参照附图以下进行的本专利技术的详细说明而明本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，对拍摄对象物而得到的图像进行检查，其中，具备：存储部，存储表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像、以及表示针对对象物应检测出的多个缺陷的确认用图像组；检查部，通过对表示对象物的图像执行使用了缺陷检测条件的检查处理来检测缺陷；显示部，显示所述检查处理的结果；输入部，接受所述缺陷检测条件的调整的输入；以及试检查控制部，使所述检查部执行针对多个所述试检查用图像的、使用了调整前的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为试检查，并使所述显示部显示所述试检查的结果，在所述输入部接受到所述缺陷检测条件的调整的输入之后，使所述检查部执行针对所述确认用图像组的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为确认检查，并使所述显示部显示所述确认检查的结果。2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述试检查控制部在使所述显示部显示所述确认检查的结果时，显示所述确认用图像组所表示的多个所述缺陷中的、通过所述确认检查没有检测出的缺陷的存在。3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，在所述输入部接受到将作为所述试检查的结果而显示于所述显示部的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，所述试检查控制部将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。4.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述确认用图像组包括第一缺陷类别的图像组和与所述第一缺陷类别不同的第二缺陷类别的图像组。5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，还具备：拍摄部，获取表示所述制造批次中包含的多个对象物的多个检查图像，多个所述试检查用图像以及所述确认用图像组是由所述拍摄部获取的图像，所述检查部执行针对多个所述检查图像的、使用了调整后的所述缺陷检测条件的所述检查处理来作为量产检查。6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，在所述输入部接受到将在所述量产检查中检测出的一个缺陷作为真缺陷的输入的情况下，所述试检查控制部将所述缺陷的图像追加到所述确认用图像组中。7.根据权利要求5所述的检查装置，其中，所述检查部具备：第一检查部，执行所述试检查及所述确认检查；以及第二检查部，执行所述量产检查，分别独立设置装置主体和辅助单元，所述装置主体包括所述拍摄部及所述第二检查部，所述辅助单元包括所述存储部、所述第一检查部、所述显示部、所述输入部及所述试检查控制部。8.一种检查方法，通过检查装置对拍摄对象物而得到的图像进行检查，其中，包括：a)工序，准备表示一个制造批次的一部分对象物的多个试检查用图像、以及表示针对对...
【专利技术属性】
技术研发人员：盐见顺一，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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