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具有应变硅结构的高压低功耗SOI LDMOS 晶体管制造技术
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下载具有应变硅结构的高压低功耗SOI LDMOS 晶体管的技术资料
文档序号:3981331
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本发明提供的是一种具有应变硅结构的高压低功耗SOI?LDMOS晶体管。包括源区(9)、体区(8)、漏区(5)、超结结构中n柱(3)、超结结构中p柱(4)、源电极(10)、漏电极(12)、栅电极(11)、埋置介质层(6),所述超结结构中p柱(...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。
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