下载电阻率的检测方法和板状物的加工方法的技术资料

文档序号:39804986

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本发明提供电阻率的检测方法和板状物的加工方法,能够在不对板状物进行加工的情况下判断与板状物的加工性对应的电阻率。在电阻率的检测方法中,对具有背面和背面的相反侧的正面的板状物的电阻率进行检测,该电阻率的检测方法包含如下的步骤:干涉波形取得步骤...
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