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本实用新型公开了一种晶圆清洗箱，包括：箱体；喷淋单元，用于向箱体内输送液体；至少两个驱动轮单元，单个驱动轮单元包括可与传动轴相连的第一驱动轮，第二驱动轮，及传动轮，第一驱动轮和第二驱动轮相向夹持传动轮，在传动轮外周形成用于夹持晶圆外缘的限位...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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