温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种清洁装置，用于清洁单晶炉副室，包括：提拉结构；中空设置的主轴，所述主轴的一端与所述提拉结构连接，所述主轴内部设置有第一通道，沿所述主轴的周向方向，所述主轴的侧壁上设置有多个吸附孔，所述第一通道的一端与所述吸附孔连通，所述第...
该专利属于西安芯晖设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安芯晖设备技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。