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光电探测器和形成光电探测器的方法技术
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文档序号:39750890
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提供了一种光电探测器,该光电探测器包括:基板,其中嵌入有波导材料的第一通道,基板和波导材料一起提供基本平坦的上表面;在上表面上并跨上表面的第一绝缘层;在第一绝缘层上并在波导材料的第一通道上方布置的石墨烯层;以及至少两个欧姆接触件,其各自被设...
该专利属于帕拉格拉夫有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过帕拉格拉夫有限公司授权不得商用。
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