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具有波导的图像传感器及其制造方法技术
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文档序号:3974363
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本发明涉及具有波导的图像传感器及其制造方法。具有波导的图像传感器包括:半导体衬底,形成有光电二极管和外围电路区域;抗反射层,形成于半导体衬底上;绝缘层,形成于抗反射层上;布线层,形成于绝缘层上并连接至半导体衬底;至少一个层间介电层,堆叠在布...
该专利属于(株)赛丽康所有,仅供学习研究参考,未经过(株)赛丽康授权不得商用。
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