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集成电路装置制造方法及图纸
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下载集成电路装置的技术资料
文档序号:39664918
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提供了一种集成电路装置。所述集成电路装置包括:电容器结构,其中,电容器结构包括:下电极,布置在基底上,其中,下电极包括沿与基底的上表面基本垂直的方向延伸的电极层,其中,电极层包括氮化铌;支撑件,布置在下电极的侧壁上;介电层,布置在下电极和支...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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