下载半导体元件的制备方法的技术资料

文档序号:39660285

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本公开提供一种半导体元件的制备方法。该制备方法包括提供一基底;形成一金属化层在该基底上;形成一上介电层在该金属化层上;形成一第一牺牲层与一第二牺牲层,其每一个穿过该上介电层与该金属化层;移除该上介电层;形成一宽度控制结构在该第一牺牲层与该第...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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