下载一种晶圆切割装置的技术资料

文档序号:39636005

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本实用新型公开了一种晶圆切割装置,包括切割平台和切割刀片,所述切割平台上开设有调节组装槽和刀片运转条槽,且调节组装槽的内部安装有限位直杆,并且限位直杆与切割平台相互连接,所述限位直杆贯穿支撑方形板,且支撑方形板位于刀片运转条槽的内部,所述支...
该专利属于浙江天极集成电路技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江天极集成电路技术有限公司授权不得商用。

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