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本实用新型公开了一种用于半导体镀膜的隔离防护部件，该隔离防护部件包括容纳腔以及盖板层，容纳腔包括底壁层以及自底壁层的表面的边缘沿垂直于底壁层的方向延伸形成的侧壁结构，侧壁结构沿底壁层的边缘周向闭合；侧壁结构包括相对设置的第一端面和第二端面，...
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