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提供能抑制处理条件所引起的偏差且判定半导体制造装置的排气装置或排气配管的异常的诊断技术。诊断装置诊断半导体制造装置的状态，该半导体制造装置具备：对样品进行处理的处理室；将样品向所述处理室运送并与处理室连接的运送室；配置于处理室与运送室之间的...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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