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本发明公开了一种用于制备大孔径碳化硅粉料的坩埚结构，具体涉及大孔径碳化硅粉料制备技术领域，包括旋转联动转盘，所述旋转联动转盘的顶端呈圆环贯穿开设有多个导向倾斜孔位，所述导向倾斜孔位内部滑动连接有导向推动杆，所述导向推动杆的顶端设有联动嵌入加...
该专利属于山西第三代半导体技术创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西第三代半导体技术创新中心有限公司授权不得商用。

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