下载芯片外观检测装置及方法的技术资料

文档序号:39593510

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本申请提供了芯片外观检测装置及方法,通过图像采集机构对待检测芯片的外观进行检测,避免人工检测导致的检测结果波动,提高检测结果的准确性
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该专利属于海宁集成电路与先进制造研究院所有,仅供学习研究参考,未经过海宁集成电路与先进制造研究院授权不得商用。

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