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本发明提供加工装置，其简单且可靠地检查搬送机构的吸盘或吸引路的空气泄漏而准确把握吸盘或配管等的适当的更换时期。在具有吸引保持而搬送晶片(被加工物)的搬送机构(70)和诊断部(100)的切削装置(加工装置)(1)中，搬送机构具有：具有至少4个...
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