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本发明提供一种基板处理装置，能够迅速地从载体向处理块转移基板。将在晶片搬入部（２１１）已转移晶片的载体（Ｃ）移载至退避用载置部（２２），并且将收纳有未处理的晶片（Ｗ）的新的载体移载至晶片搬入部（２１１），当将晶片（Ｗ）从该新的载体交接至处理...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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