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本实用新型提供了一种晶片顶推装置,包括升降模组、安装座、音圈电机及顶推组件,其中:安装座连接在升降模组上;音圈电机的定子组件固定在安装座上,动子组件滑动连接在定子组件上;顶推组件包括吸附体及顶推件,其中,吸附体下端连接在安装座上,吸附体内形...该专利属于无锡奥特维科芯半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡奥特维科芯半导体技术有限公司授权不得商用。
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