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本发明公布了一种化学气相沉积设备的基座沉积物清洁方法，该方法需要使用以下装置：基座本体、底座、顶座、转盘、电机、刷头、移动装置和供液装置，本发明的有益效果是，基座本体可拆卸式连接在沉积箱的底部，在清洁时可以将基座本体拆下，清洁时无需受到沉积...
该专利属于广东鸿浩半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东鸿浩半导体设备有限公司授权不得商用。

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