下载高性能导电垫PAD缓解应力的超薄3D扇出型封装结构及方法的技术资料

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本发明公开了一种高性能导电垫PAD缓解应力的超薄3D扇出型封装结构及方法,所述结构包括:硅基平台,其具有第一表面和第二表面,在第一表面制作有硅基槽,第二表面制作有硅通孔;芯片,所述芯片埋入硅基槽内;转接焊盘,所述转接焊盘制作在硅基平台的第一...
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