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公开了用于修改衬底保持器的衬底支撑元件的装置和方法。根据一些实施例，公开了一种装置，所述装置包括：衬底保持器，所述衬底保持器具有从所述衬底保持器的第一侧突出的多个支撑元件；支撑结构，所述支撑结构被配置成从所述衬底保持器的第二侧以横切方式保持...
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