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本发明涉及微纳米制备技术领域，具体涉及一种纳米压印模版的制备方法。包括制备聚苯乙烯微球分散液、将聚苯乙烯微球转移到石英衬底上形成自组装阵列、采用反应离子刻蚀法对附着有聚苯乙烯微球自组装阵列的石英衬底进行刻蚀、清洗等步骤。本发明工艺简单且易于...
该专利属于青岛翼晨镭硕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛翼晨镭硕科技有限公司授权不得商用。

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