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本公开提供了一种半导体结构的监控方法及监控装置，涉及半导体技术领域。该监控方法包括：获取半导体结构上预定数量的第一量测点位，确定第一量测方案；利用第一监控机制对第一量测方案中获得的第一数据信息进行监控；基于第一量测点位，确定数量小于第一量测...
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