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本公开提供一种沉积机台的控制方法。该控制方法包括在该当前晶圆上执行一第一沉积配方；通过一第一测量模块产生该当前晶圆的一第一组数据；通过耦合到该第一测量模块的一人工智能模块分析该第一组数据；当该第一组数据不在一预定范围内时，该人工智能模块产生...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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