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一种方法，包括：检测与图案形成装置和/或光刻设备相关联的数据；基于该数据来执行评估测试；基于该评估测试来确定是否继续曝光衬底；当做出不继续的确定时从多个动作中选择动作，并且在图案形成装置和/或光刻设备上执行该动作。该动作。该动作。
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该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

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