下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:39290434

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本公开的实施例描述了具有隔离结构的半导体结构。半导体结构包括:纳米结构组,位于衬底上;栅极介电层,包裹纳米结构组;功函金属层,位于栅极介电层上和纳米结构组周围;以及隔离结构,与纳米结构组相邻并且与功函金属层接触。功函金属层的部分位于隔离结构...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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