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本实用新型公开了一种晶圆背面缺陷检测装置，包括底板，所述底板的上表面中间部位通过轴承转动连接有立柱，所述立柱的顶端设置有U型架，所述U型架的两竖直段之间通过轴承转动连接有横置的连接轴，所述连接轴上固定连接有支撑座，所述支撑座的顶端通过支撑杆...
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