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本实用新型提供了一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆装载设备，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的不能自动调整传感器间距，难以高效兼容不同尺寸晶圆的技术问题。该多尺寸兼容晶圆扫描装置包括双动子直线电机、电动执行器、第二滑动组件和...
该专利属于北京锐洁机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京锐洁机器人科技有限公司授权不得商用。

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