下载面向无感附着任务的胶膜复合式静电吸附装置的技术资料

文档序号:39260521

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本发明公开了面向无感附着任务的胶膜复合式静电吸附装置,包括静电吸附层、胶粘层、绝缘硅橡胶和硬质背板,胶粘层环绕设置于静电吸附层外侧,胶粘层和静电吸附层都固定粘接于硬质背板上;静电吸附层包括绝缘层、柔性电极、基底层、绝缘填充胶,绝缘层和基底层...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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