温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

根据本公开的一个方式的处理装置，具有：输送机构，输送矩形形状的基板；定位台，用于载置所述基板来进行所述基板的定位；以及旋转台，用于旋转定位的所述基板，所述输送机构包括对载置在所述定位台上的所述基板的端部进行按压而进行所述基板的定位的块部。行...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。