处理装置及定位方法制造方法及图纸

根据本公开的一个方式的处理装置，具有：输送机构，输送矩形形状的基板；定位台，用于载置所述基板来进行所述基板的定位；以及旋转台，用于旋转定位的所述基板，所述输送机构包括对载置在所述定位台上的所述基板的端部进行按压而进行所述基板的定位的块部。行按压而进行所述基板的定位的块部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】处理装置及定位方法


[0001]本公开涉及一种处理装置及定位方法。

技术介绍

[0002]已知有如下技术：将基板可移动地支承在支承部件上，通过用按压部件和定位部件夹住该基板来定位该基板(例如，参照专利文献1)。
[0003]【现有技术文献】
[0004]【专利文献】
[0005]【专利文献1】日本特开2005
‑
116878号公报

技术实现思路

[0006]【专利技术所要解决的课题】
[0007]本公开提供一种定位矩形基板的技术。
[0008]【解决课题的手段】
[0009]根据本公开的一个方式的处理装置，具有：输送机构，输送矩形形状的基板；定位台，用于载置所述基板来进行所述基板的定位；以及旋转台，用于旋转定位的所述基板，所述输送机构包括对载置在所述定位台上的所述基板的端部进行按压而进行所述基板的定位的块部。
[0010]【专利技术的效果】
[0011]根据本公开，能够定位矩形基板。
附图说明
[0012]图1是表示实施方式的检查装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种处理装置，具有：输送机构，输送矩形形状的基板；定位台，用于载置所述基板来进行所述基板的定位；以及旋转台，用于旋转定位的所述基板，其中，所述输送机构包括对载置在所述定位台上的所述基板的端部进行按压而进行所述基板的定位的块部。2.根据权利要求1所述的处理装置，其中，具有控制部，构成为执行如下步骤：将所述基板载置在所述定位台上，用所述块部按压所述基板的端部，由此进行所述基板的第1方向的定位；将进行了所述第1方向的定位的所述基板载置于所述旋转台上而使其旋转90
°
；以及将旋转了90
°
的所述基板载置于所述定位台上，用所述块部按压所述基板的端部，从而进行所述基板的与所述第1方向正交的第2方向的定位。3.根据权利要求1或2所述的处理装置，其中，所述块部设置在所述输送机构的拾取器的基端。4.根据权利要求3所述的处理装置，其中，所述块部具有与所述拾取器的进退方向正交并按压所述基板的端部的按压面。5.根据权利要求3或4所述的处理装置，其中，所述拾取器包括保持所述基板的多个衬垫。6.根据权利要求5所述的处理装置，其中，所述多个衬垫包括至少两个能独立抽吸的吸附垫。7.根据权利要求3至6中任一项所述的处理装置，还具有：盒，收容所述基板；和位置检测传感器，设置在通过所述拾取器将所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：带金正，加贺美史，荒井香织，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：