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本发明提供一种晶圆片制备方法及晶圆片,方法包括提供一半成品晶圆片,将第一导电金属按第一预设形状形成为源极及漏极;将第二导电金属按第二预设形状形成为闸极;将氮化硅沉积在第一半成品晶圆片上,以在第一半成品晶圆片上形成电容绝缘层,将氮化钽或镍铬合...该专利属于华通芯电(南昌)电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华通芯电(南昌)电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种晶圆片制备方法及晶圆片,方法包括提供一半成品晶圆片,将第一导电金属按第一预设形状形成为源极及漏极;将第二导电金属按第二预设形状形成为闸极;将氮化硅沉积在第一半成品晶圆片上,以在第一半成品晶圆片上形成电容绝缘层,将氮化钽或镍铬合...