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本公开涉及一种清洗装置、晶圆处理设备及其清洗方法，当控制阀处于第一工作状态时，排气管路与喷嘴相连通，便能将喷嘴内部的酸气通过排气管路向外抽出，并输出到废物排放机构；当控制阀处于第二工作状态时，清洗管路与排气管路相连通，清洗管路通入的第一清洗...
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