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本发明公开了一种CMP的晶圆信息匹配方法、装置、终端、介质、设备，方法，包括建立查阅表，确定晶圆ID，并将其填入查阅表，确定晶圆批号，并将其填入查阅表，在查阅表中将晶圆ID与晶圆批号绑定，获取待确认晶圆的晶圆ID，阅表内的晶圆批号匹配，并输...
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