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本发明提供一种探针卡测试结构及其制备方法，其中探针卡测试结构包括：基板；与基板电学连接的互连中介层，互连中介层包括重布线结构以及位于部分重布线结构背离基板一侧表面的若干导电连接件；探针组件，适于位于互连中介层背离基板的一侧，探针组件与导电连...
该专利属于长电集成电路（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长电集成电路（绍兴）有限公司授权不得商用。

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