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本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备，通过载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的移动...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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