下载半导体金属化方法及半导体器件的技术资料

文档序号:39068901

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本发明实施方式提出一种半导体金属化方法及半导体器件,属于半导体技术领域,通过在待金属化的半导体器件的金属硅化物制作金属阻挡层,并通过该金属阻挡层形成第一通槽,从而将第一通槽作为待填充通槽,在待填充通槽内制作金属阻挡层,进而采用电镀的方式在待...
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