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一种共面构型的柔性静电吸附装置及其制作方法制造方法及图纸
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下载一种共面构型的柔性静电吸附装置及其制作方法的技术资料
文档序号:39068324
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本发明公开了一种共面构型的柔性静电吸附装置及其制作方法,涉及静电吸附技术领域,共面构型的柔性静电吸附装置包括从上至下依次排列的介电层、电极层和绝缘基底,电极层的空隙处、以及电极层与绝缘基底之间填充有粘附材料,介电层和绝缘基底之间通过粘附材料...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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