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本发明提供一种高精度硅压阻压力传感器芯片，包括基底层，所述基底层的上端设置压力敏感层，所述压力敏感层上设置压力敏感膜，所述压力敏感膜上设置有压敏电阻，所述压力敏感层上对应所述压敏电阻设置有芯片电极，所述芯片电极用于压敏电阻与外部导线进行连接...
该专利属于西安思微传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安思微传感科技有限公司授权不得商用。

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