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本公开提供了一种半导体设备的监测方法及设备维保管理系统，监测方法包括：获取目标设备的多个历史在制品信息，以及记录每个历史在制品信息的历史时刻对应的历史设备性能信息和历史维保信息。基于多个历史在制品信息、多个历史设备性能信息和多个历史维保信息...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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