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一种吸附固定晶圆的研磨设备制造技术
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下载一种吸附固定晶圆的研磨设备的技术资料
文档序号:39026121
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本实用新型提供一种吸附固定晶圆的研磨设备,涉及晶圆研磨技术领域,解决了晶圆两面快速研磨以及碎片液体阻挡收集的问题,包括安装台,所述安装台的上方安装有一组推动机构,推动机构由推动气缸和推动座共同组成,安装台的上方通过螺栓安装有一个锁定架,推动...
该专利属于苏州鑫泓电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州鑫泓电子科技有限公司授权不得商用。
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