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本发明涉及一种钛铌合金溅射靶材及其制备方法与应用，所述钛铌合金溅射靶材的制备方法包括如下步骤：(1)球磨混合钛粉与铌粉，得到混合粉；(2)步骤(1)所得混合粉依次经夯实处理、真空脱气处理、预热处理、热等静压处理以及机加工处理，得到所述钛铌合...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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